Komponenten für Halbleiter- und Vakuumanlagen: Kammerbauteile aus 6061/316, CF-Flansche aus 316LN, Kovar 4J29 und PEEK-Bearbeitungsteile. Kleinserien mit hoher Präzision ab 50 Stück.
| Vakuumkammer-Bauteile | 6061-Aluminium, 316, gefräst |
| CF-Flansche | 316LN, gedreht |
| Kovar-Teile, PEEK-Teile | 4J29, PEEK, gedreht/gefräst |
| Losgrößenbereich | 50–5,000 Stück je Familie |
| Toleranzschema | DIN ISO 2768-mK, Dichtflächen nach Zeichnung |
| Dokumentation | EN 10204 3.1, Werkstoffbescheinigungen |
Hersteller von Halbleiter- und Vakuumanlagen bestellen Kleinserien hochpräziser Komponenten — Vakuumkammerbauteile, CF-Flansche, Durchführungskomponenten — bei denen der Unterschied nicht im Volumenpreis liegt, sondern in der Beherrschung seltener Werkstoffe und der Prozessdisziplin. Kovar (4J29) für Glas-Metall-Verschmelzungen und PEEK für isolierende, ausgasungskritische Teile sind die beiden Werkstoffe, die die meisten Betriebe meiden.
Beide sind in unserem Portfolio etabliert. Kovar-Drehen erfordert kontrollierte Schnittbedingungen, um die Qualität der Dichtflächen zu erhalten; die PEEK-Bearbeitung braucht Thermomanagement, um die Maße an einem isolierenden Werkstoff zu halten. Losgrößen ab 50 Stück passen zum Muster der Anlagenhersteller.
| Bauteil (DE / EN) | Typisches Material | Prozess | Typische Losgröße |
|---|---|---|---|
| Vakuumkammer-Komponenten (vacuum chamber components) | 6061-Aluminium, 316 | Fräsen | 50–1,000 Stück |
| CF-Flansche (CF flanges) | 316LN | Drehen | 100–2,000 Stück |
| Kovar-Teile (Kovar parts) | Kovar 4J29 | Langdrehen | 500–5,000 Stück |
| PEEK-Komponenten (PEEK components) | PEEK | Dreh-Fräsen-Bearbeitung | 200–2,000 Stück |
Kovar- und PEEK-Bearbeitung sind differenzierende Fähigkeiten in diesem Segment — beides etablierte Prozesse mit kontrollierten Schnittparametern.
Der Standardablauf: Zeichnungsprüfung und Angebot innerhalb von 48 Stunden, erste Muster in 7–15 Tagen, Erstmusterprüfung und Freigabe, anschließend Serienproduktion auf Basis der freigegebenen Referenz. Losgrößen folgen der Tabelle oben — von einzelnen Ersatzteilen bis zu Zehntausenden von Stück pro Bestellung, je nach Bauteilfamilie.
Bei Wiederholbestellungen bleiben Werkzeuge, Programmrevisionen und Prüfprotokolle hinterlegt, sodass Abrufbestellungen konsistent mit dem freigegebenen Erstmuster bleiben. Konstruktionsänderungen — Materialsubstitutionen, Toleranzupdates, Verpackungsänderungen — werden als kontrollierte Änderungen gegen dieselben Unterlagen abgewickelt.
DIN ISO 2768-mK gilt als Standard-Toleranzschema für unbezogene Maße. EN 10204 3.1-Prüfbescheinigungen sind für Metallteile Standard, die Erstmusterprüfung unterstützt den Freigabeschritt, und RoHS/REACH-Erklärungen sind bei Bedarf verfügbar. Anforderungen zu Oberflächenbehandlung, Sauberkeit und Verpackung werden je Zeichnung bestätigt.
Bearbeiten Sie Kovar (4J29)?
Ja — Kovar-Drehen mit kontrollierten Schnittbedingungen ist ein etablierter Prozess, typischerweise für Komponenten mit Glas-Metall-Verschmelzung.
Können Sie PEEK bearbeiten, ohne Maße zu verlieren?
Ja — die PEEK-Bearbeitung erfordert Thermomanagement; die Maßstrategie wird vor der Bemusterung je Zeichnung vereinbart.
Welche CF-Flansch-Finishes liefern Sie?
Dichtflächen werden gemäß Zeichnungsspezifikation für die Flanschgröße bearbeitet; die Werte werden vor der Produktion bestätigt.
Welche Losgrößen passen zu Anlagenherstellern?
50–1,000 Stück für Kammerkomponenten, bis zu 5,000 für Kovar- und PEEK-Bauteilfamilien.
Senden Sie Ihre Zeichnung — Sinbo Precision prüft Material, Toleranzschema und Losgrößenplanung und gibt innerhalb von 48 Stunden ein Angebot ab. Muster in 7–15 Tagen.
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