半導体装置向け Kovar・PEEK・真空コンポーネント

半導体・真空装置向けコンポーネント：6061/316 のチャンパ部品、316LN の CF フランジ、Kovar 4J29 と PEEK の切削部品。小ロット・高精度、50個から。

業界シナリオ：小ロット、特殊材料、近道を許さない品質

半導体・真空装置メーカーが発注するのは小ロットの高精度コンポーネントです。真空チャンパ部品、CF フランジ、フィードスルー部品において差をつけるのは数量価格ではなく、希少材料への対応力と工程規律です。ガラス-金属封接用の Kovar（4J29）と、絶縁性・ガス放出が重要な部品用の PEEK は、多くの加工場が避ける二つの材料です。

この両材料は当社のポートフォリオで確立されています。Kovar 旋削は封接面品質を保つため管理された切削条件を要求し、PEEK 加工は絶縁材料の寸法を維持するため熱管理が必要です。50個からのロットは装置メーカーの発注パターンに適合します。

代表部品ファミリーと工程

部品名（独/英）	代表材料	工程	標準ロット
Vakuumkammer-Komponenten（真空チャンパコンポーネント）	6061 アルミ、316	フライス	50–1,000個
CF-Flansche（CF フランジ）	316LN	旋盤	100–2,000個
Kovar-Teile（Kovar 部品）	Kovar 4J29	スイス型旋盤	500–5,000個
PEEK-Komponenten（PEEK コンポーネント）	PEEK	旋削複合加工	200–2,000個

Kovar と PEEK の加工はこの分野の差別化能力です。いずれも切削パラメータを管理した確立された工程です。

フロー：図面・サンプル承認・リピート量産

標準フロー：図面レビューと見積もりは48時間以内、初回サンプルは7–15日で納入、初ロット検査（FAI）と承認を経て、承認済み基準品に基づき量産へ移行します。ロット数は上の表のとおりです。単品のスペアパーツから数万個規模の注文まで、部品ファミリーに応じて対応します。

リピート注文では、治具・プログラム改訂・検査記録を保管しているため、追加呼び出し（コールオフ）でも承認済み初ロット品と同一品質を維持します。材料代替・公差更新・包装変更などの設計変更は、同じ記録に基づく管理された変更として処理します。

品質と書類

記載のない寸法には DIN ISO 2768-mK が既定公差として適用されます。金属部品には EN 10204 3.1 検査成績書が標準添付され、初ロット検査（FAI）が承認ステップを支え、必要に応じて RoHS/REACH 宣言も発行できます。表面処理・清浄度・包装要件は図面ごとに確認します。

よくある質問

Kovar（4J29）の加工は可能ですか？
可能です。管理された切削条件による Kovar 旋削は確立された工程で、典型用途はガラス-金属封接コンポーネントです。

PEEK を寸法劣化なく加工できますか？
可能です。PEEK 加工には熱管理が必要で、寸法戦略はサンプリング前に図面に基づき協議します。

CF フランジの仕上げ面はどのようになりますか？
シール面はフランジサイズに応じた図面仕様どおりに加工します。数値は生産前に確認します。

装置メーカーに合うロット数は？
チャンパ部品は50–1,000個、Kovar と PEEK 部品ファミリーは最大5,000個です。