半导体与真空设备组件:6061/316 腔体零件、316LN CF 法兰、Kovar 4J29 与 PEEK 加工件。小批量高精度,50 件起。
| 真空腔体零件 | 6061 铝、316,铣削 |
| CF 法兰 | 316LN,车削 |
| Kovar 零件、PEEK 零件 | 4J29、PEEK,车削/铣削 |
| 批量范围 | 每族 50–5,000 件 |
| 公差标准 | DIN ISO 2768-mK,密封面按图纸 |
| 随附文件 | EN 10204 3.1、材质证明书 |
半导体与真空设备制造商订购小批量高精度组件——真空腔体零件、CF 法兰、馈通组件——其差异化不在批量价格,而在于稀有材料的加工能力与工艺纪律。用于玻璃-金属封接的 Kovar(4J29)与用于绝缘、对放气敏感零件的 PEEK,正是多数加工厂回避的两种材料。
这两种材料在我们的工艺组合中均已成熟。Kovar 车削需要受控的切削条件以保持封接面质量;PEEK 加工需要热管理来锁住绝缘材料的尺寸。50 件起的批量正契合设备制造商的采购模式。
| 零部件(德 / 英) | 典型材料 | 工艺 | 典型批量 |
|---|---|---|---|
| Vakuumkammer-Komponenten(真空腔体组件) | 6061 铝、316 | 铣削 | 50–1,000 件 |
| CF-Flansche(CF 法兰) | 316LN | 车削 | 100–2,000 件 |
| Kovar-Teile(Kovar 零件) | Kovar 4J29 | 走心式车削 | 500–5,000 件 |
| PEEK-Komponenten(PEEK 组件) | PEEK | 车铣复合 | 200–2,000 件 |
Kovar 与 PEEK 加工是该行业的差异化能力——两者均为工艺成熟、切削参数受控的加工过程。
标准流程:48 小时内完成图纸评审与报价,7–15 天交付首批样品,经首件检验与认可后,按已认可的基准件投入批量生产。批量按上表执行——从单件备件到每张订单数万件,视零部件族而定。
对于返单,工装、程序修订与检验记录均存档管理,因此按需叫料与已认可的首件保持一致。工程变更——材料替代、公差更新、包装变更——依据同一套记录按受控变更处理。
未注尺寸默认适用 DIN ISO 2768-mK 公差。金属件标配 EN 10204 3.1 检验证书,首件检验支持认可环节,需要时可提供 RoHS/REACH 声明。表面处理、清洁度与包装要求按图纸逐项确认。
能否加工 Kovar(4J29)?
可以——受控切削条件下的 Kovar 车削是成熟工艺,典型应用为玻璃-金属封接组件。
加工 PEEK 能否保持尺寸?
可以——PEEK 加工需要热管理;尺寸策略在制样前按图纸约定。
交付的 CF 法兰是什么光洁度?
密封面按法兰规格对应的图纸规范加工;数值在生产前确认。
设备制造商适合什么批量?
腔体组件 50–1,000 件,Kovar 与 PEEK 零件族最多 5,000 件。